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    Influences of different structures on the characteristics of H_2O-based and O_3-based La_xAl_yO films deposited by atomic layer deposition

    Influences of different structures on the characteristics of H_2O-based and O_3-based La_xAl_yO films deposited by atomic layer deposition von 费晨曦 刘红侠 汪星 赵冬冬 王树龙 陈树鹏

    Veröffentlicht in 中国物理B：英文版

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