Si基板上へのSiCヘテロエピタキシャル成長 von 芝原, 健太郎, 西野, 茂弘, 松波, 弘之

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β-SiCの気相成長 von 西野, 茂弘, 松波, 弘之, 田中, 哲郎

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低誘電率層間絶縁膜のプラズマ化学気相堆積 von 白藤, 立, 林, 康明, 西野, 茂弘

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Identification of the Topmost Atomic Layer of 6H-SiC (0001) Surface by CAICISS von NISHIHARA, Takaharu, ISHIYAMA, Osamu, SHINOHARA, Makoto, OHTANI, Fumihiko, NISHINO, Shigehiro, SARAIE, Jyunji

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表面波励起マイクロ波プラズマによる大面積基板への配向カーボンナノチューブの作製 von 林, 裕之, 古賀, 瑞帆, 頭島, 淳, 高橋, 一正, 林, 康明, 西野, 茂弘

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Large-Area Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Surface-Wave-Excited Microwave-Plasma CVD von HAYASHI, Hiroyuki, KOGA, Mizuho, KASHIRAJIMA, Jun, TAKAHASHI, Kazumasa, HAYASHI, Yasuaki, NISHINO, Shigehiro

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