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    エアロゾルデポジション法における基板加熱がAl2O3膜の成膜効率に与える影響

    エアロゾルデポジション法における基板加熱がAl2O3膜の成膜効率に与える影響 von 直江, 和明, 天明, 浩之, 西亀, 正志, 楠川, 順平

    Veröffentlicht in 日本溶射学会誌　溶射

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