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    実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査

    実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査 von 蛯名, 雄太郎, 前崎, 智博, 周, 立波, 清水, 淳, 小貫, 哲平, 尾嶌, 裕隆, 乾, 正知

    Veröffentlicht in 精密工学会誌

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    ロータリ型インフィード平面研削メカニズムに関する研究: 無線式動力計の開発と研削抵抗の評価

    ロータリ型インフィード平面研削メカニズムに関する研究: 無線式動力計の開発と研削抵抗の評価 von 石橋, 憲, 月井, 裕太, 蛯名, 雄太郎, 周, 立波, 清水, 淳, 山本, 武幸, 小貫, 哲平, 尾嶌, 裕隆

    Veröffentlicht in 砥粒加工学会誌

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