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Investigation of Capacitively Coupled Argon Plasma Driven by Dual-Frequency with Different Frequency Configurations
von
虞一青 辛煜 陆文琪 宁兆元
Veröffentlicht in
Plasma science & technology
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Abnormal Enhancement of N2+ Emission Induced by Lower Frequency in N2 Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas
von
虞一青 辛煜 陆文琪 宁兆元
Veröffentlicht in
等离子体科学和技术:英文版
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Plasma Science & Technology
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Iop Publishing Journals
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Iopscience Extra
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