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ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成: 第5報, マスク層の加工条件依存性
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集 C編
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ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成: 第1報, 摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造形成の可能性...
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集 C編
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ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成: 第3報, エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応用...
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集 C編
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ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成: 第2報, 集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性...
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集 C編
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