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    スパッタガス圧を変えて作製した Fe/Fe-N 積層膜の軟磁気特性

    スパッタガス圧を変えて作製した Fe/Fe-N 積層膜の軟磁気特性 von 米本, 隆治, 宮川, 亞夫

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    スパッタリングとECRプラズマ窒化の繰り返しによるFe/Fe-N多層膜の軟磁気特性

    スパッタリングとECRプラズマ窒化の繰り返しによるFe/Fe-N多層膜の軟磁気特性 von 小野, 秀昭, 藤長, 政志, 米本, 隆治, 宮川, 亞夫

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    ECRプラズマ窒化によるFe-Zr/Fe-Zr-N軟磁性多層膜の耐熱性

    ECRプラズマ窒化によるFe-Zr/Fe-Zr-N軟磁性多層膜の耐熱性 von 小野, 秀昭, 藤長, 政志, 米本, 隆治, 宮川, 亞夫

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    Fe/FexN積層膜の軟磁気特性に及ぼすFexN層の影響

    Fe/FexN積層膜の軟磁気特性に及ぼすFexN層の影響 von 米本, 隆治, 宮川, 亞夫

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    イオン照射したポリイミドフィルムとCuスパッタ膜の密着性

    イオン照射したポリイミドフィルムとCuスパッタ膜の密着性 von 米本, 隆治, 佐藤, 淳一, 根本, 浩之, 御田, 護

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