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    マイクロマシニングによる超小型電磁モータの開発 : 第1報,低残留応力の厚膜形成法の検討(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)

    マイクロマシニングによる超小型電磁モータの開発 : 第1報,低残留応力の厚膜形成法の検討(機械要素,潤滑,工作,生産管理など) von 太田, 斎, 山中, 広美, 笹倉, 久泰, 武田, 宗久


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    The Development of Ultra Small Electromagnetic Motor by Micromachining : 1st Report, Deposition Method of Thick Film with Low Residual Stress

    The Development of Ultra Small Electromagnetic Motor by Micromachining : 1st Report, Deposition Method of Thick Film with Low Residual Stress von OTA, Hitoshi, YAMANAKA, Hiromi, SASAKURA, Hisayasu, TAKEDA, Munehisa


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