精密位置決め装置のボールねじ熱膨張のペルチェモジュール冷却による防止 von 大塚, 二郎, 野﨑, 孝志, 鈴木, 隆太郎, 種石, 健一, 十朱, 寧, 中田, 篤史, 行平, 憲一, 越水, 重臣, 西出, 哲弘, 大澤, 洋文

Volltext