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    GaCl-O2系HVPE法によるβ-Ga2O3成長における過剰Cl2供給効果 von 森, あかね, 税本, 雄也, 後藤, 健, 熊谷, 義直


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    In2O3のハライド気相成長におけるIn原料分子種の影響

    In2O3のハライド気相成長におけるIn原料分子種の影響 von 長井, 研太, 田中, 那実, 税本, 雄也, 富樫, 理恵, 竹川, 直, 後藤, 健, 熊谷, 義直


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