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    高アスペクト比加工に向けたフルオロカーボン系活性種のエッチングへの影響評価

    高アスペクト比加工に向けたフルオロカーボン系活性種のエッチングへの影響評価 von 谷田, 知史, 飯野, 大輝, 久保井, 宗一, 栗原, 一彰, 福水, 裕之


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    CF4ガスからプラズマ合成されたC2F4ガスの分離濃縮技術の検討

    CF4ガスからプラズマ合成されたC2F4ガスの分離濃縮技術の検討 von 大参, 宏昌, 田中, 領, 中塚, 宏学, 飯野, 大輝, 栗原, 一彰, 福水, 裕之, 福原, 成太, 林, 久貴, 垣内, 弘章, 安武, 潔


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    中圧域のプラズマを用いたCF4ガス原料からのC2F4のオンサイト生成

    中圧域のプラズマを用いたCF4ガス原料からのC2F4のオンサイト生成 von 田中, 領, 田中, 智之, 飯野, 大輝, 栗原, 一彰, 福水, 裕之, 福原, 成太, 林, 久貴, 垣内, 弘章, 安武, 潔, 大参, 宏昌


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