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放射光を用いた薄膜評価とダイヤモンドライクカーボン膜の国際標準化
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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放射光軟 X 線照射による Si 系非晶質半導体膜の結晶化に光子エネルギーが与える影響
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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