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    水素添加多結晶IGO:H膜による高移動度薄膜トランジスタ

    水素添加多結晶IGO:H膜による高移動度薄膜トランジスタ von 神寳, 健太, 田中, 大貴, 松村, 俊宏, 片岡, 大樹, 曲, 勇作, 古田, 守, 佐々木, 大地, 川嶋, 絵美, 霍間, 勇輝


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    Ar+O­2+H2スパッタ成膜によるIn­–Ga–O薄膜の結晶性･電気特性制御

    Ar+O­2+H2スパッタ成膜によるIn­–Ga–O薄膜の結晶性･電気特性制御 von 神寳, 健太, 是友, 大地, 古田, 守, 川嶋, 絵美, 霍間, 勇輝


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