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    表面活性化接合で作成したSi/GaAs界面の低温FIB法による断面TEM評価

    表面活性化接合で作成したSi/GaAs界面の低温FIB法による断面TEM評価 von 大野, 裕, 清水, 康雄, 永井, 康介, 麻生, 亮太郎, 神内, 真人, 吉田, 秀人, 梁, 剣波, 重川, 直輝


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