チタン材料における水のガス放出低減に関する研究 von 竹田, 将利, 栗巣, 普揮, 内田, 貴志, 山本, 節夫, 石澤, 克修, 野村, 健, 江田, 庸宏, 村重, 信之

Volltext

真空材料の電解研磨・化学研磨による表面改質ステンレス鋼，アルミニウム合金からチタンへ von 石澤, 克修, 野村, 健, 村重, 信之

Volltext

化学研磨処理した純チタンのガス放出特性 von 栗巣, 普揮, 木本, 剛, 藤井, 寛朗, 田中, 和彦, 山本, 節夫, 松浦, 満, 石澤, 克修, 野村, 健, 村重, 信之

Volltext

半導体製造用高機能配管「NKクリーン・CRドライパイプ」の開発 von 遠山, 晃, 宮内, 昌明, 山田, 武海, 大橋, 雅夫, 石澤, 克修

Volltext

真空材料向け化学研磨によるアルミニウム合金の表面処理 von 石澤, 克修, 野村, 健, 嶋田, 晃久, 金澤, 実, 稲吉, さかえ, 斎藤, 一也, 塚原, 園子

Volltext

化学研磨したステンレス鋼のガス放出特性 von 稲吉, さかえ, 斎藤, 一也, 佐藤, 幸恵, 塚原, 園子, 原, 泰博, 天野, 繁, 石澤, 克修, 野村, 健, 嶋田, 晃久, 金澤, 実

Volltext

アルミニウム合金の低ガス放出表面処理 von 稲吉, さかえ, 斎藤, 一也, 塚原, 園子, 石澤, 克修, 野村, 健, 金沢, 実

Volltext

Outgassing Properties of Chemically Polished Stainless Steels von INAYOSHI, Sakae, SAITO, Kazuya, SATO, Yukie, TSUKAHARA, Sonoko, HARA, Yasuhiro, AMANO, Sigeru, ISHIZAWA, Katsunobu, NOMURA, Takeshi, SIMADA, Akihisa, KANAZAWA, Minoru

Volltext

Precise Chemical Polishing of Aluminum Alloys for UHV Wall von ISHIZAWA, Katunobu, NOMURA, Takeru, SHIMADA, Akihisa, KANAZAWA, Minoru, INAYOSHI, Sakae, SAITO, Kazuya, TSUKAHARA, Sonoko

Volltext

NK CleanCR Dry Pipe Developed for Semiconductor Manufacturing von Tohyama, Akira, Miyauchi, Masaaki, Yamada, Takemi, Ohashi, Masao, Ishizawa, Katsumi

Volltext