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    マスクLine-Edge-RoughnessのWigglingへの影響

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    29a-YL-8 a-Si_<1-x>N_x:H バンド端変調構造膜のフォトルミネッセンスの周波数分解スペクトル

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    3a-J-7 a-Si_<1-x>N_x:Hバンド端変調構造膜におけるフォトルミネッセンスの温度依存性

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