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スウェード系研磨パッドを用いた難加工基板CMPの研磨メカニズム解明に関する研究: スウェードパッド表面の空孔が研磨レートとその安定性に与える影響...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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10pBE-6 低温光学ハイドロフォン用液体窒素冷却センサーの開発(10pBE ^4He・量子渦・低温技術,領域6(金属(液体金属・準結晶)・低温(超低温・超伝導・密度波)))...
Veröffentlicht in 日本物理学会講演概要集
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