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ALD法によるAlジャーマネイト絶縁層を用いたGe-MIS構造における界面近傍トラップのDLTS評価
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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マイクロ波生成原子状酸素を酸化剤として用いたALD法によるGe基板上へのAlジャーマネイト薄膜の自発的形成
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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