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    感光性レジストフィルムを使用したLTCC多層基板用キャビティ構造及びビア導体の作製方法

    感光性レジストフィルムを使用したLTCC多層基板用キャビティ構造及びビア導体の作製方法 von 高藤, 美泉, 赤木, 陽介, 石垣, 克磨, 内木場, 文男


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    感光性レジストフィルムを使用した平坦な微細配線が形成されたLTCC多層基板の作製方法

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    MEMSとセラミック磁性体を用いた超小型電磁誘導式エアタービン発電機の開発

    MEMSとセラミック磁性体を用いた超小型電磁誘導式エアタービン発電機の開発 von 飯塚, 茜, 石垣, 克磨, 滝川, 勇介, 大瀬, 智昭, 齊藤, 健, 内木場, 文男


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    Forming Method of LTCC Multilayer Substrate with Flat Fine Conductor Pattern Using Photo Resist Film

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    Fabrication of LTCC Substrate with Cavity Structure and Via Conductor Using by Photo Resist Film

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