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    ヘリウムプラズマ照射下における基板近傍のヘリウム原子励起温度測定

    ヘリウムプラズマ照射下における基板近傍のヘリウム原子励起温度測定 von 矢北, 真一郎, 広畑, 優子, 日野, 友明

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    Measurement on Helium Excitation Temperature in the Vicinity of Substrate during Helium Plasma Irradiation

    Measurement on Helium Excitation Temperature in the Vicinity of Substrate during Helium Plasma Irradiation von YAKITA, Shinichiro, HIROHATA, Yuko, HINO, Tomoaki

    Veröffentlicht in SHINKU

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