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M三次元実装に向けたサーモトロピック液晶性ポリイミドの開発
von
村瀬, 友英
,
相京, 浩幸
,
水谷, 文一
,
荘司, 優
,
東原, 知哉
,
上田, 充
Veröffentlicht in
マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
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Thermotropic Liquid Crystalline Polyimides as Candidate Materials for Three Dimensional Chip Stack
Veröffentlicht in
Proceedings of Microelectronics Symposium
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