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両面同時研磨におけるキャリアと摩擦係数並びに研磨レートの関係: キャリアが上下研磨パッドと基板相互間の摩擦係数に及ぼす影響および摩擦係数と研磨レートの相関...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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難加工基板のCMPにおけるスラリーフロー評価法に関する研究: 基板界面におけるスラリー流れ場とそれに及ぼす影響因子の評価
Veröffentlicht in Seimitsu Kōgakkaishi
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スウェード系研磨パッドを用いた難加工基板CMPの研磨メカニズム解明に関する研究: スウェードパッド表面の空孔が研磨レートとその安定性に与える影響...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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フレキシブルファイバードレッサによる新規パッドドレッシング方法の有効性評価: フレキシブルファイバードレッサの工具寿命検証
Veröffentlicht in 砥粒加工学会誌
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