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28aXT-6 シリコン中のリン拡散におけるplateau,rapid fallおよびtailの形成機構(格子欠陥・ナノ構造)(領域10)
Veröffentlicht in 日本物理学会講演概要集
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P2-22 圧電素子光熱信号の温度依存性によるn型Si中の深い準位の評価(ポスターセッション2,ポスター発表)
Veröffentlicht in 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集
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