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ミニマルファブのための小型HiPIMS型スパッタ成膜装置の開発
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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超高過飽和環境下で生成するナノ粒子の表面自由エネルギーと吸着係数 の同時決定と微小重力実験の重要性
Veröffentlicht in 日本マイクログラビティ応用学会誌
VolltextArtikel -
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