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水平静电驱动式多晶3C-SiC折叠悬臂梁谐振器微结构
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王亮 赵永梅 宁瑾 孙国胜 王雷 刘兴坊 赵万顺 曾一平 李晋闽
Veröffentlicht in
Journal of semiconductors
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