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    HI中性粒子ビームによるInGaN反応性エッチング

    HI中性粒子ビームによるInGaN反応性エッチング von 澤田, 尭廣, 石原, 崇寛, 大堀, 大介, 王, 学論, 寒川, 誠二


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    HBr中性粒子ビームによるGaN/SiNの原子層選択エッチング

    HBr中性粒子ビームによるGaN/SiNの原子層選択エッチング von 澤田, 尭廣, 大堀, 大介, 菅原, 健太, 岡田, 政也, 中田, 健, 井上, 和孝, 佐藤, 大輔, 寒川, 誠二


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    中性粒子ビームによる無欠陥原子層GaN加工

    中性粒子ビームによる無欠陥原子層GaN加工 von 澤田, 尭廣, 大堀, 大介, 菅原, 健太, 岡田, 政也, 佐藤, 大輔, 栗原, 秀行, 寒川, 誠二


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    中性粒子ビームによるGaN加工基礎特性

    中性粒子ビームによるGaN加工基礎特性 von 澤田, 尭廣, 大堀, 大介, 菅原, 健太, 岡田, 政也, 井上, 和孝, 佐藤, 大輔, 栗原, 秀行, 寒川, 誠二


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