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    サブミクロンの軸受すきまで動作する静圧気体スラスト軸受: 静的特性

    サブミクロンの軸受すきまで動作する静圧気体スラスト軸受: 静的特性 von 吉本, 成香, 阿武, 芳朗, 温品, 貴幸

    Veröffentlicht in 精密工学会誌

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