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3 次元アトムプローブによる半導体ナノ構造の元素分布解析
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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27aKA-5 アトムプローブを用いたFe中のCuの拡散定数測定(格子欠陥・ナノ構造(炭素系・金属・水素),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))...
Veröffentlicht in 日本物理学会講演概要集
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26aWZ-6 3次元アトムプローブと陽電子消滅法によるイオン注入不純物の拡散挙動解析(26aWZ 格子欠陥・ナノ構造(半導体),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))...
Veröffentlicht in 日本物理学会講演概要集
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