チタン酸バリウムの焼結と純アルミニウムとの鋳造接合の同時プロセス条件 von 後藤, 育壮, 佐藤, 龍士, 仁野, 章弘, 柳沢, 柊希, 土田, 菜摘, 後藤, 勇貴, 田中, 聖也, 小熊, 幸成, 深江, 功也

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リアクタ部品表面保護膜物質の三フッ化塩素によるエッチング速度 von 塩田, 耕平, 羽深, 等, 深江, 功也

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三フッ化塩素ガスにより4H-SiC表面に形成されるエッチピット von 古川, 和親, 羽深, 等, 飯塚, 晋司, 深江, 功也, 加藤, 智久

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三フッ化塩素ガスによる炭化珪素エッチング装置の設計 von 弓矢, 武蔵, 福元, 裕介, 羽深, 等, 飯塚, 晋司, 深江, 功也, 加藤, 智久

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