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1
溶液法による高品質3インチ4H-SiC結晶の成長
von
朱, 燦
,
郁, 万成
,
黄, 威
,
幾見, 基希
,
党, 一帆
,
安藤, 圭理
,
海野, 高天
,
原田, 俊太
,
田川, 美穂
,
宇治原, 徹
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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3インチ4度オフ種結晶上へのSiC溶液成長における貫通転位変換とインクルージョン抑制の両立
von
海野, 高天
,
朱, 燦
,
原田, 俊太
,
小泉, 晴比古
,
田川, 美穂
,
宇治原, 徹
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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