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    薄膜キャパシタ内蔵インターポーザによるLSI動作周波数の向上

    薄膜キャパシタ内蔵インターポーザによるLSI動作周波数の向上 von 服部, 篤典, 吉澤, 正充, 張, 維, 高松, 淳一, 波多野, 弘孝, 尾関, 靖幸, 小山田, 成聖


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