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周波数可変ダイオードレーザを光源とする位相変調ホモダイン変位計測干渉計: 第1報:要素技術の開発
von
石下, 雅史
,
松浦, 文生
,
河杉, 正晃
,
星野, 雄太
,
クォックトゥアン, バン
,
明田川, 正人
Veröffentlicht in
精密工学会誌
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Phase Modulation Homodyne Displacement Measuring Interferometer using Tunable Laser Diode as Light Source: 1st Report : Development of Elementary Techniques
von
ISHIGE, Masashi
,
MATSUURA, Fumio
,
KAWASUGI, Masaaki
,
HOSHINO, Yuuta
,
QUOC, Tuan BANH
,
AKETAGAWA, Masato
Veröffentlicht in
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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