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    メカノケミカル砥石表面のBaSO4砥粒が単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響

    メカノケミカル砥石表面のBaSO4砥粒が単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響 von 池田, 真遥, 古城, 直道, 山口, 智実, 廣岡, 大祐, 角田, 勝俊, 棚田, 憲一

    Veröffentlicht in 砥粒加工学会誌

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    Effects of BaSO4 abrasive on surface of stone on superfinishing performance of single-crystal silicon with mechanochemical superabrasive stone

    Effects of BaSO4 abrasive on surface of stone on superfinishing performance of single-crystal silicon with mechanochemical superabrasive stone von IKEDA, Masaharu, FURUSHIRO, Naomichi, YAMAGUCHI, Tomomi, HIROOKA, Daisuke, SUMIDA, Katutoshi, TANADA, Kenichi, 真遥, 池田, 直道, 古城, 智実, 山口, 大祐, 廣岡, 勝俊, 角田, 憲一, 棚田


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