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シリコン基板上 GaN パワーデバイスエピタキシャル成長用有機金属気相成長装置の現状と課題
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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高温N2雰囲気アニール処理をしたAlNテンプレート上へのAlN及びAlGaN(Al>0.5)の再成長
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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