ビームのプラズマ化を考慮した低エネルギーイオンビームの引出しシミュレーション von 早川, 太朗, 井内, 裕, 池尻, 忠司

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イオンビームエッチング用大口径イオンビームの特性 von 早川, 太朗, 井内, 裕, 池尻, 忠司

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Snイオン注入によるGe基板中のPプロファイル制御 von 和田, 涼太, 鈴木, 良守, 永山, 勉, 黒井, 隆, 池尻, 忠司, 谷村, 英昭, 青山, 敬幸, 加藤, 慎一

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シリコン電界放出電子源から放出される電子のエネルギー分析 von 小島, 俊彦, 中村, 好志, 後藤, 康仁, 辻, 博司, 石川, 順三, 池尻, 忠司, 海勢頭, 聖, 酒井, 滋樹, 長井, 宣夫

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