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ミストCVD法によるサファイア基板上a面及びm面ZnO薄膜結晶の品質向上
von
永尾, 悠生
,
田中, 雄大
,
須恵, 耕二
,
永岡, 昭二
,
谷田部, 然治
,
中村, 有水
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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ミストCVD法によるサファイア基板上における2種の非極性面ZnO薄膜の結晶性向上
von
田中, 雄大
,
田之上, 博信
,
永尾, 悠生
,
古川, 拓実
,
永岡, 昭二
,
谷田部, 然治
,
中村, 有水
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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