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    Comparison of 2D Hybrid Simulational and Experimental Results for Dual-Frequency Capacitively Coupled Argon Plasmas

    Comparison of 2D Hybrid Simulational and Experimental Results for Dual-Frequency Capacitively Coupled Argon Plasmas von 毕振华 徐翔 刘永新 蒋相占 陆文琪 王友年

    Veröffentlicht in Plasma science & technology

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