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    1P1-6 2元スパッタリング法によるScAIN薄膜の形成

    1P1-6 2元スパッタリング法によるScAIN薄膜の形成 von 藤井, 知, 隅坂, 将大, 岡田, 行彦, 蓮池, 紀幸, 木曽田, 賢治, 播磨, 弘, 大森, 達也, 橋下, 研也


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