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Influences of different oxidants on the characteristics of HfAlO_x films deposited by atomic layer deposition
von
樊继斌 刘红侠 马飞 卓青青 郝跃
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Chinese physics B
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Influence of different oxidants on the band alignment of HfO2 films deposited by atomic layer deposition
von
樊继斌 刘红侠 高博 马飞 卓青青 郝跃
Veröffentlicht in
中国物理B:英文版
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Institute Of Physics (Iop) Journals - Heal-Link
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