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4H-SiC Niコンタクトの低抵抗化モデルの検証
von
谷本, 智
,
宮部, 正徳
,
椎山, 貴光
,
鈴木, 達広
,
中島, 信一
,
山田, 朋幸
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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4H-SiC低抵抗Ni熱処理コンタクトの構造解析
von
谷本, 智
,
宮部, 正徳
,
椎山, 貴光
,
鈴木, 達広
,
山口, 浩
,
中島, 信一
,
奥村, 元
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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