誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により紙上へ作製した Cu 薄膜の基板バイポーラ電圧依存性 von 森重, 史也, 大谷, 和輝, 平野, 意峰, 川畑, 敬志, 岡本, 圭司

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誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したCu 薄膜に及ぼす基板バイポーラ電圧の効果 von 森重, 史也, 大谷, 和輝, 笠井, 聖史, 川畑, 敬志, 岡本, 圭司

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