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    4H-SiC CMOS論理回路作製に向けたBOSCHプロセスによるSiCディープエッチング

    4H-SiC CMOS論理回路作製に向けたBOSCHプロセスによるSiCディープエッチング von 森本, 剣偲郎, 村岡, 幸輔, 児島, 一聡, 黒木, 伸一郎


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