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スパッタリング法を用いて酸素分圧を変化させて製膜された O/Nb 比が異なる非晶質酸化ニオブ薄膜の構造解析
Veröffentlicht in SPring-8/SACLA利用研究成果集
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O/Nb = 2.5, 2.6, 2.7の組成を有する非晶質酸化ニオブ薄膜を利用した 光電気化学特性と同薄膜の構造解析
Veröffentlicht in SPring-8/SACLA利用研究成果集
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反応性RFマグネトロンスパッタ装置を用いてアルミ薄膜上に堆積させた酸化亜鉛・酸化ニオブナノアイランドの電気化学的特性
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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