-
1
-
2
-
3
-
4
高周波プラズマCVD法による炭素膜へのバイアス効果
Veröffentlicht in Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌)
VolltextArtikel -
5
Bias Effect on the Formation of Carbon Films by RF-Plasma CVD
Veröffentlicht in Journal of the Ceramic Society of Japan
VolltextArtikel -
6