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    逆メサ加工GaNテンプレートを用いたGaNの選択成長

    逆メサ加工GaNテンプレートを用いたGaNの選択成長 von 板垣, 憲広, 永利, 圭, 井本, 良, 岡田, 成仁, 西宮, 智靖, 松尾, 文晴, 只友, 一行


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    化学的活性条件でのICP-RIEによる半極性面GaNのエッチング形状

    化学的活性条件でのICP-RIEによる半極性面GaNのエッチング形状 von 永利, 圭, 板垣, 憲広, 井本, 良, 岡田, 成仁, 西宮, 智靖, 松尾, 文晴, 只友, 一行


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    逆メサ加工GaNテンプレートを用いた自立GaN基板作製

    逆メサ加工GaNテンプレートを用いた自立GaN基板作製 von 板垣, 憲広, 野島, 康平, 石橋, 直人, 井本, 良, 岡田, 成仁, 西宮, 智靖, 松尾, 文晴, 只友, 一行


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    誘導結合型プラズマ反応性イオンエッチングを用いたGaNの逆メサ加工

    誘導結合型プラズマ反応性イオンエッチングを用いたGaNの逆メサ加工 von 板垣, 憲広, 永利, 圭, 岡田, 成仁, 井本, 良, 西宮, 智晴, 松尾, 文晴, 只友, 一行


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