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電子線照射Si結晶の室温フォトルミネッセンスで観測されるC-line近傍発光を利用した炭素評価
von
石川, 陽一郎
,
田島, 道夫
,
木内, 広達
,
三好, 一智
,
小椋, 厚志
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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2
電子線照射Si結晶の室温フォトルミネッセンスで観測されるC-line近傍発光の起源
von
田島, 道夫
,
木内, 広達
,
石川, 陽一郎
,
小椋, 厚志
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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3
発光活性化後の液体窒素温度フォトルミネッセンス測定によるSi結晶中炭素不純物の定量
von
田島, 道夫
,
木内, 広達
,
樋口, 史仁
,
小椋, 厚志
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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4
電子線照射発光活性化PL法によるCZ-Si結晶中の酸素析出過程の解析
von
樋口, 史仁
,
田島, 道夫
,
木内, 広達
,
小椋, 厚志
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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5
電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法による太陽電池用CZ-Si中の低炭素濃度の定量
von
木内, 広達
,
田島, 道夫
,
樋口, 史仁
,
石川, 陽一郎
,
小椋, 厚志
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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6
電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法によるP添加n型CZ-Si結晶の炭素定量
von
石川, 陽一郎
,
田島, 道夫
,
木内, 広達
,
小椋, 厚志
,
宮村, 佳児
,
原田, 博文
,
柿本, 浩一
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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7
電子線照射発光活性化PL法による太陽電池用CZ-Si中の低濃度炭素の定量
von
木内, 広達
,
田島, 道夫
,
樋口, 史仁
,
小椋, 厚志
,
飯田, 伸仁
,
橘, 昇二
,
正田, 勲
,
西島, 英一
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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光学評価
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結晶工学
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結晶評価,不純物・結晶欠陥
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シリコン
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5
Silicon
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炭素不純物
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2
14P-F201-6
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14P-F201-7
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15P-A23-16
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18P-D103-12
1 Treffer
1
18P-D103-13
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1
6P-A503-2
1 Treffer
1
Carbon
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1
Carbon Concentration
1 Treffer
1
Determination Of Carbon Concentration
1 Treffer
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Impurity Quantification
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