ニュースバル多目的ビームラインBL10における軟X線吸収分析（4）；軟X線吸収分析装置の導入と有機薄膜試料の軟X線吸収・反射率分析 von 植村, 智之, 村松, 康司, 南部, 啓太, 福山, 大輝, 九鬼, 真輝, 原田, 哲男, 渡邊, 健夫, 木下, 博雄

Volltext

ニュースバル多目的ビームラインBL10における軟X線吸収分析(3)；液体有機化合物とエンジンオイルの状態分析 von 植村, 智之, 村松, 康司, 南部, 啓太, 原田, 哲男, 木下, 博雄

Volltext

ニュースバル多目的ビームラインBL10における軟X線吸収分析（2）；前置ミラーの炭素汚染除去による分光特性の向上と工業ゴムの軟X線吸収分析への適用... von 村松, 康司, 潰田, 明信, 植村, 智之, 原田, 哲男, 木下, 博雄

Volltext

ニュースバル多目的ビームラインBL-10における軟X線吸収分析（1）；分光特性評価と軽元素標準物質のXANES測定 von 村松, 康司, 潰田, 明信, 原田, 哲男, 木下, 博雄

Volltext

EUVリソグラフィの現状と今後の課題 von 木下, 博雄

Volltext

極端紫外線による半導体素子製造技術の実用化 von 木下, 博雄

Volltext

総論 von 木下, 博雄

Volltext

材料加工応用に向けたコヒーレント軟Ｘ線レーザーによる表面アブレーション von 錦野, 将元, 石野, 雅彦, Dinh, T-H, 長谷川, 登, A, Faenov, T., Pikuz, 市丸, 智, 木下, 博雄, 坂上, 和之, 東口, 武史, 犬伏, 雄一, 今, 亮, 大和田, 成起, 羽多野, 忠, 鷲尾, 方一, 末元, 徹, 河内, 哲哉

Volltext

マグネシウムおよびマグネシウム合金のガス放出特性 von 田中, 弓弦, 木下, 博雄, 渡邊, 健夫, 劉, 莉, 椿野, 晴繁

Volltext

光ファイバーを用いた点回折干渉計に関する研究 von 格内, 敏, 木下, 博雄, 渡邊, 健夫, 坂本, 亨

Volltext

極端紫外線露光技術 von 木下, 博雄, 渡邊, 健夫, 浜本, 和宏, 椿野, 晴繁

Volltext

超短パルス軟Ｘ線レーザー照射によるアブレーション von 石野, 雅彦, ヂン, タンフン, ファエノフ, アナトリ, 犬伏, 雄一, 市丸, 智, 大和田, 成起, 河内, 哲哉, 木下, 博雄, 今, 亮, 坂上, 和之, 末元, 徹, ピクツ, タチアナ, 保, 智己, 錦野, 将元, 長谷川, 登, 羽多野, 忠, 東口, 武史, 鷲尾, 方一

Volltext

高出力軟X線レーザー用カロリメーターの較正 von ヂン, タンフン, 錦野, 将元, 石野, 雅彦, 羽多野, 忠, 田村, 賢紀, 小倉, 拓人, 原, 広行, 坂上, 和之, 市丸, 智, 犬伏, 雄一, 今, 亮, 大和田, 茂起, 木下, 博雄, 長谷川, 登, 東口, 武史, 鷲尾, 方一

Volltext

フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション von 市丸, 智, 錦野, 将元, 石野, 雅彦, 木下, 博雄, 犬伏, 雄一, 東口, 武史, 鷲尾, 方一, 坂上, 和之, 大和田, 成起, 羽多野, 忠, 畑山, 雅俊, 大知, 渉之, Hung, Dinh-Thanh, 今, 亮, 原, 広行, 山内, 駿, 小倉, 拓人, 篠崎, 夏美, 小柴, 裕, 高橋, 孝, 西留, 武宏, 奥, 哲

Volltext

フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究 von 坂上, 和之, 石野, 雅彦, 井谷, 俊郎, 犬伏, 雄一, 市丸, 智, 大和田, 成起, 小倉, 拓人, 木下, 博雄, 小柴, 裕也, 今, 亮, Santillan, Julius, 篠崎, 夏美, 高橋, 孝, 田村, 賢紀, Hung, Dinh-Thanh, 錦野, 将元, 西留, 武宏, 羽多野, 忠, 原, 広行, 東口, 武史, 山内, 駿, 鷲尾, 方一

Volltext

「ビーム応用分科内招待講演」EUV光利用によるEUVマスク検査技術 von 原田, 哲男, 渡邊, 健夫, 木下, 博雄

Volltext

高次高調波を用いたコヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるパタン欠陥観察(II) von 藤野, 貴大, 田中, 祐輔, 原田, 哲男, 永田, 豊, 渡邊, 健夫, 木下, 博雄

Volltext

軟X線反射率改善用W/Siスーパーミラーの開発 von 九鬼, 真輝, 原田, 哲男, 渡邊, 健夫, 木下, 博雄

Volltext

0.1μm以降をねらいとした極端紫外線露光技術の展望 von 木下, 博雄, 渡邊, 健夫

Volltext

極微パタン構造計測のためのコヒーレント13nm高次高調波光源の開発V von 永田, 豊, 原田, 哲男, 中筋, 正人, 木下, 博雄, 緑川, 克美

Volltext