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ALD法で作製したTiOx/SiOx/結晶Siヘテロ界面のパッシベーション効果発現メカニズム 〜水素原子脱離の影響
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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電子エネルギー損失分光法を用いた高パッシベーション性能TiOx/SiOx/c-Siヘテロ界面の局所構造の解明
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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