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プラズマCVDにより作製したSi-B-N膜の電気的, 機械的特性
von
倉増, 敬三郎
,
是近, 哲広
,
坂口, 誠一郎
,
北川, 雅俊
,
平尾, 孝
Veröffentlicht in
日本機械学会論文集 A編
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熱運写用端面型サーマルヘッド
von
是近, 哲広
,
倉増, 敬三郎
,
山下, 清春
,
服部, 孝道
Veröffentlicht in
テレビジョン学会技術報告
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3
Mechanical Properties of SiOxNy Films Deposited by RF Plasma-Enhanced CVD
von
KURAMASU, Keizaburo
,
KORECHIKA, Tetsuhiro
,
KITAGAWA, Masatoshi
,
HIRAO, Takashi
Veröffentlicht in
Journal of the Ceramic Society of Japan
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4
Electrical and Mechanical Properties of Si-B-N Films Made by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
von
KURAMASU, Keizaburo
,
KORECHIKA, Tetsuhiro
,
SAKAGUCHI, Seiichiro
,
KITAGAWA, Masatoshi
,
HIRAO, Takashi
Veröffentlicht in
TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS Series A
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5
RFプラズマCVDにより作製したSiOxNy膜の機械的特性
von
倉増, 敬三郎
,
是近, 哲広
,
北川, 雅俊
,
平尾, 孝
Veröffentlicht in
Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌)
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Journal Of The Ceramic Society Of Japan
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Nihon Kikai Gakkai Ronbunshū. A
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Nihon Kikai Gakkai Rombunshuu. A Hen
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Nihon Seramikkusu Kyōkai Gakujutsu Ronbunshi
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Transactions Of The Japan Society Of Mechanical Engineers Series A
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テレビジョン学会技術報告
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日本機械学会論文集 A編
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日本機械学会論文集A編
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Ezb-Free-00999 Freely Available Ezb Journals
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