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    炭化珪素エッチング条件における三フッ化塩素ガスに対する AlN の腐食性

    炭化珪素エッチング条件における三フッ化塩素ガスに対する AlN の腐食性 von 春口, 瞳夕, 川崎, 稜平, 羽深, 等, 高橋, 至直


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